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ASM IP 申请用于堆积金属磷化物的方式和系统专利
金融界 2025 年 5 月 5 日动静，国度学问产权局消息显示，公开号 CN119913486A，申请日期为 2024 年 10 月。专利摘要显示，本公开涉及通过轮回堆积过程正在衬底上堆积含金属磷化物材料的方式和设备。该方式包罗正在反映室中供给衬底，将金属卤化物前体以气相供给到反映室中；以及将第二前体以气相供给到反映室中。
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